納米級三坐標測量機
[2013-03-21]
納米三坐標測量機科技是當今的前沿科技領(lǐng)域，然而只有當能夠?qū){米尺度進行測量時納米科技才能成為真正的科學。目前納米尺度的測量已從一維測量走向三維測量。圖11 是德國伊爾梅諾大學研制的世界上第一臺商品納米三坐標測量機。我國臺灣大學教授、合肥工業(yè)大學長江教授范光照也與合肥工業(yè)大學一起研制了我國第一臺納米三坐標測量機。這些測量機都具有以下特點。（1）采用具有納米分辨力的原子力顯微鏡或近場光學顯微鏡等作為測頭。（2）采用激光標尺，以實現(xiàn)米定義的溯源。（3）采用高精度細分技術(shù)獲得納米分辨力。（4）采用微晶玻璃等零膨脹系數(shù)材料構(gòu)筑測量機主體測量框架，消除溫度的影響。（5）在結(jié)構(gòu)布局上盡可能符合阿貝原則，減小阿貝誤差。（6）采用電容傳感器等測量移動部件的角運動誤差，并采用硬件補償調(diào)整或軟件補償?shù)姆椒p小角運動誤差的影響。
納米三坐標測量機
